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MNOIC研究支援において、クリーンルームに入室する場合は、産業技術総合研究所・デバイス技術研究部門での安全管理に準じます。このため、デバイス技術研究部門での参加研究員のための安全導入教育を完了した後に、クリーンルームへの入室ができます。 |
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MNOIC研究支援において、化学物質を持ち込む場合、デバイス技術研究部門の管理規定に従っていただきます。利用者による薬品等(レジスト類を含む)の持ち込みは原則としてお断りします。必要な場合は、MNOICで薬品等の購入手配を代行します。(管理費を含む実費をお支払いいただきます)。 |
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MNOIC研究支援において、半製品等を持ち込む場合は、工程毎の装置の汚染を防止する目的で、持ち込み時に「半製品持ち込み内規」に従って審査させて頂きます。この審査の最終決裁はMNOIC開発センター長が行います。 |
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MNOIC研究支援において、クリーンルームの利用に際し、労働安全衛生の観点から利用者に対し事前の健康診断、しかるべき資格の保有、しかるべき教育の受講を条件とすることがあります。 |
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MNOIC研究支援において、クリーンルーム内における事故等に備え、利用者は適切な保険に加入しください。 |