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MNOIC研究支援可能な設備の概要

最先端8/12インチMEMS製造装置が主力設備

 MNOICでは、産総研集積マイクロシステム研究センター が保有する様々なMEMS研究設備を利用した研究支援を行います。特に、最先端の8/12インチMEMS研究設備は高価なものも多く、企業にとって利用価値が高いとされています。また、新規導入した最先端の研究装置を用いた研究支援も順次増強していきます。      
  研究支援可能な設備の詳細




   
前工程MEMSライン(TKB812F)

 MEMS前工程に必要な最先端装置を完備しています。クリーンルームは約350㎡、クラス1000。 → 設備配置図(PDF)
 これらの設備装置の多くは、Gデバイス@BEANSの成果を継承しています。
  ご利用設備の詳細



    
後工程MEMSライン(TKB812B)

 MEMS後工程、評価に必要な最先端装置を完備しています。クリーンルームは約150㎡、クラス1000。 → 設備配置図(PDF)
 これらの設備装置の多くは、Gデバイス@BEANSの成果を継承しています。 
  ご利用設備の詳細




 
    
MEMS製造8-12ライン紹介ビデオ

本ビデオは総合イベント「マイクロナノ2011」用に作成したMNOIC@TIAにおけるMEMSライン紹介ビデオをYou Tube にアップしたものです。


 
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