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従来の経緯

MEMS-DDC構想+TIA→MNOICの発足へ

　MEMS産業のファンドリー拠点基盤強化の観点から、MEMS協議会は2007年MEMS-DDC（デザイン開発センター）構想を提言し、その後、つくばの地を世界的なナノテク拠点として整備しようとするTIA（つくばイノベーションアリーナ）事業が2009年に始まったことから一気に気運が高まり、2011年には産学官連携によるMNOIC（マイクロナノオープンイノベーションセンター）が発足する運びになりました。



　
MNOICの発足までの年表

2007-2008年度
　当初MEMS協議会において、MEMS産業のファンドリー拠点基盤強化の必要性が提言され、MEMS-DDC（デザイン開発センター）構想の検討が進む。
MEMS懇話会にてファンドリー拠点基盤強化の提言 2007.11.8
第1回MEMS-DDC（デザイン開発センター）検討会の開催 2008.9.2
第2回MEMS-DDC（デザイン開発センター）検討会の開催 2008.10.3
MEMS懇話会にてMEMS-DDC構想の推進を確認 2008.10.29
第3回MEMS-DDC（デザイン開発センター）検討会の開催 2008.12.10
2009-2010年度
　その後、つくばの地を世界的なナノテク拠点として整備するTIA事業がスタートしたことに伴い、MEMS-DDC構想もTIA事業と連動して検討を進めることとし、MEMS-DDC検討会をMNOIC検討会に改組してNMEMS拠点作りを推進。
　
　また、この間、補正予算事業Ｇデバイス@BEANSの実施により、この拠点に最先端8インチMEMS製造ラインが導入され、MEMS拠点が大幅に強化。
TIA最高運営会議の開催 2009.6.17
Gデバイス@BEANSの受託決定 2010.3.11
第1回 TIA-NMEMS WG＆MNOIC検討会の開催 2010.7.15
TIA-NMEMSシンポジウム＠マイクロナノ2010 の開催 2010.7.30
TIA-NMEMS WG のサイト開設 2010.8.16
第2回 TIA-NMEMS WG＆MNOIC検討会&最新設備見学会 2010.12.7
TIA-NMEMS拠点のHPサイトを全面リニューアル 2011.1.20
TIA-NMEMS拠点 新クリーンルーム見学会 2011.2.9
東日本大震災の発生→様々な被害発生 2011.3.11
2011年度～　
　これまでの様々な活動が実を結び、MEMS協議会の下にMNOIC（マイクロナノ・オープンイノベーションセンター）が設置され、本格運用開始へ。
マイクロナノオープンイノベーションセンター（MNOIC）の設置 2011.4.1
MNOIC設立シンポジウムの開催 2011.7.15
MNOICの利用申込の受付開始 2011.8.3
活動拠点となるNMEMSイノベーション棟の開所式 2011.8.30
第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム｣シンポジウムにてMNOICの展示 2011.9.26-27
MNOICのMEMS試作研究開発支援サービスが順調に稼働 2011.11.25
MEMSものづくりネットワーク研究会でのMNOICの紹介 2011.11.24
MNOIC装置セミナー＆見学会を開催 2012.2.14
NBCI「TIA-nanoの見える化」第１回講演会にて、MNOICの紹介 2012.2.2
国際会議ISIM2012にてMNOICの紹介 2012.2.13
TIA N-MEMS 国際ビジネスワークショップ、UMEMSME・MNOICセミナーを開催 2012.7.10
「マイクロナノ２０１２」　TIA N-MEMSシンポジウムPart1　MNOICセミナー開催 2012.7.12
２年目を迎えたMNOICの最近の状況 2012.9
第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム｣シンポジウムにてMNOICの展示 2012.10.22-24
MNOIC-UMEMSME特別セミナー（オランダ研究所との国際WS）開催報告 2012.11.15
仙台マイクロナノ国際フォーラム2012でのMNOIC展示 2012.11.19-20
MNOIC実習セミナー　X-CTを用いたマイクロナノデバイスの３次元構造の計測・評価、および三次元データ再構成の実習 2012.1.22-23
MNOIC-UMEMSME特別セミナー（カナダ・アルバータ州との国際WS）開催 2013.1.28
２０１３年　３月　MNOICの最近の状況 2013.3
UMEMSME-MNOICセミナー「ツール　de　MNOIC　装置セミナー　２０１３」開催 2013.5.30
「ナノマイクロビジネス展２０１３」　TIA N-MEMSシンポジウムMEMS協議会フォーラム開催 2013.7.5
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポにBEANSパテントショップ、MNOIC、MemsONEが出展 2013.11.5-7
第20回日本未病システム学会学術総会にてMNOICの展示 2013.11.9-10
２０１４年　３月　MNOICの最近の状況 2014.3
MNOICの最近の状況（２０１４年　７月） 2014.7
MNOIC実習セミナー　「センサ回路とシステム・シミュレータ実習」【ＴＩＡ連携大学院サマー・オープン・フェスティバル２０１４】の実施 2014.8.21-22
松江で開催された「センサ･マイクロマシンと応用システム」にMNOICとMemsONEを出展 2014.10.20-22
MNOIC実習セミナー　「大口径最先端光学式評価装置を用いた圧電体薄膜の評価」【ＴＩＡ連携大学院サマー・オープン・フェスティバル２０１５】 2015.8.27-28
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにMNOICをポスター展示 2015.10.28-30
「微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム　シンポジウム」でMNOICを紹介 2016.3.16
MNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)の活動状況 2016.5
2016MNOIC実習講座「インフラおよび産業機器モニタに利用可能な、MEMSセンサの回路・システム実習」の実施 2016.8.25-26
「センサ･マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにMNOICを出展・報告 2016.10.24-26
「微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム　シンポジウム」でMNOICを紹介 2017.3.8
MNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)の活動状況 2017.3
「MEMS Engineer Forum2017」に出展 2017.4.26-27
TIA-MEMSサマー・セミナー　学生･若手研究者に向けたMEMS講座｢企業の開発事例に学ぶMEMS｣を開催 2017.8.25
　
　
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