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53. 圧電定数評価装置
【装置名】 圧電定数評価装置
【概略仕様】
ウェハ寸法：4-8インチウェハ 機能：ダブルビームレーザ変位計測による特性評価 評価特性：変位、分極特性、誘電率、損失係数、圧電係数d33 等
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