MMC > MNOICメイン > ご利用案内 > 利用可能な設備の詳細 >

ご利用案内

 利用可能な設備の詳細
52. 大面積コータディベロッパ

【装置名】 大面積コータディベロッパ
【概略仕様】
機能・特徴:密閉式回転カップ方式により、角基板のコーナーまで均一にスピンコート
対応基板:□500mm、φ300mm、φ200mm 基盤搬送:専用治具による手動搬送 塗布性能:レジスト厚さ1~10μm±1-2% リンス機能:エッジリンス、バックリンス(円形基板のみ対応) ベーク温度:120~200±1℃ 等

 
MNOICメイン  ご利用案内  提供サービス  設備概要  お問合せ・アクセス

一般財団法人マイクロマシンセンター サイトマップ センターアクセス お 問 合 せ
Copyright c Micromachine Center. All rights reserved.