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52. 光学顕微鏡
【装置名】 光学顕微鏡
【概略仕様】
ウェハ寸法：8、12インチウェハ、機能：長焦点深度の光学顕微観察、画像処理機能付属、倍率：35-2500倍、ステージストローク：300×250mm
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