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51. テスタープローバー
【装置名】 テスタープローバー
【概略仕様】
ウェハ寸法:8インチウェハ、機能:プローブカードによる大気中でのウェハレベル電気的特性評価、セミオートウェハ搬送処理、容量計測・周波数解析機能、音響加振機能付属
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