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 利用可能な設備の詳細
51. 圧電定数評価装置

【装置名】 圧電定数評価装置
【概略仕様】
ウェハ寸法:4-8インチウェハ 機能:ダブルビームレーザ変位計測による特性評価 評価特性:変位、分極特性、誘電率、損失係数、圧電係数d33 等

 
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