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50. X線CT評価装置
【装置名】 X線CT評価装置
【概略仕様】
ウェハ寸法：8、12インチウェハ、機能：X線CTスキャン顕微鏡観察、チップホルダ付属、取込立体画像/CAD図形変換、観察エリア：最大8インチ、最高分解能：1μm
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