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 利用可能な設備の詳細
49. 12”ウェハ常温接合装置

【装置名】 12”ウェハ常温接合装置
【概略仕様】
ウェハ寸法:4、6、8、12インチ、機能:ウェハ/ウェハ常温接合(表面活性化接合)、最大接合荷重:200kN、アライメント精度:±1μm

 
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