MNOICご利用案内：利用設備詳細　薄膜応力評価装置

ご利用案内

　利用可能な設備の詳細

49. 薄膜応力評価装置

【装置名】　薄膜応力評価装置

【概略仕様】

ウェハ寸法：8インチウェハ、機能：レーザ光によるウェハ反り量の非接触計測、内部応力値への換算評価、加温中のin-situ計測による応力変化の温度履歴評価機能付属、最高加熱温度：600℃