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46. 分析SEM
【装置名】 分析SEM
【概略仕様】
ウェハ寸法：4、6、8、12インチウェハ、機能：走査型電子顕微鏡による表面観察、元素分析、結晶解析ユニット、チップ観察ホルダ付属、観察倍率：30－300000倍
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