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　利用可能な設備の詳細
45. 測長SEM

【装置名】　測長SEM
【概略仕様】
ウェハ寸法：4、6、8インチウェハ、片面鏡面研摩ウェハ対応、機能：走査型電子顕微鏡による寸法測定、測長範囲：0.1－2.0μm、解像分解能：3nm、観察倍率：1000－300000倍

　
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