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 利用可能な設備の詳細
45. 薄膜応力評価装置

【装置名】 薄膜応力評価装置
【概略仕様】
ウェハ寸法:8インチウェハ、機能:レーザ光によるウェハ反り量の非接触計測、内部応力値への換算評価、加温中のin-situ計測による応力変化の温度履歴評価機能付属、最高加熱温度:600℃

 
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