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44. 12”ウェハ常温接合装置
【装置名】 12”ウェハ常温接合装置
【概略仕様】
ウェハ寸法：4、6、8、12インチ、機能：ウェハ/ウェハ常温接合（表面活性化接合）、最大接合荷重：200kN、アライメント精度：±1μm
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