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 利用可能な設備の詳細
43. 超音波顕微鏡

【装置名】 超音波顕微鏡
【概略仕様】
ウェハ寸法:8、12インチ、機能:接合されたウエハなどの内部欠陥(ボイド、クラック、剥離など)の観測

 
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