MNOICご利用案内：利用設備詳細　ウェハtoウェハ接合装置

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　利用可能な設備の詳細

42. ウェハtoウェハ接合装置

【装置名】　ウェハtoウェハ接合装置

【概略仕様】

ウェハ寸法：4、6、8インチ、機能：ウェハ/ウェハ低温接合（陽極接合、プラズマ接合）、接合チャンバ内アライメント機能付属、接合温度：60-250℃、アライメント精度：±0.5μm