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41. チップtoウェハ接合装置
【装置名】 チップtoウェハ接合装置
【概略仕様】
ウェハ寸法：4、6、8、12インチ、機能：チップ/ウェハ接合、チップ寸法：1-20ｍｍ角、接合温度：60-450℃、アライメント精度：±0.5μm
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