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40. 熱処理装置
【装置名】 熱処理装置
【概略仕様】
ウェハ寸法:8インチウェハ、機能:真空及びN2ガス雰囲気での熱処理、10枚バッチ処理、横型、真空チューブ仕様、最大加熱温度:600℃
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