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 利用可能な設備の詳細
38. ウェハtoウェハ接合装置

【装置名】 ウェハtoウェハ接合装置
【概略仕様】
ウェハ寸法:4、6、8インチ、機能:ウェハ/ウェハ低温接合(陽極接合、プラズマ接合)、接合チャンバ内アライメント機能付属、接合温度:60-250℃、アライメント精度:±0.5μm

 
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