MMC > MNOICメイン > ご利用案内 > 利用可能な設備の詳細 >

ご利用案内

 利用可能な設備の詳細
36. レーザステルスダイサー

【装置名】 レーザステルスダイサー
【概略仕様】
ウェハ寸法:3-8インチウエハ、機能:レーザによる低ダメージ・ドライ切断、カセット・ツー・カセット搬送処理、ステージ分解能:0.1μm、送り速度:1-1000mm/s

 
MNOICメイン  ご利用案内  提供サービス  設備概要  お問合せ・アクセス

一般財団法人マイクロマシンセンター サイトマップ センターアクセス お 問 合 せ
Copyright c Micromachine Center. All rights reserved.