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36. レーザステルスダイサー
【装置名】 レーザステルスダイサー
【概略仕様】
ウェハ寸法:3-8インチウエハ、機能:レーザによる低ダメージ・ドライ切断、カセット・ツー・カセット搬送処理、ステージ分解能:0.1μm、送り速度:1-1000mm/s
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