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ご利用案内

 利用可能な設備の詳細
35. ブレードダイサー

【装置名】 ブレードダイサー
【概略仕様】
ウェハ寸法:最大12インチウェハ、機能:ダイヤモンドブレードによるウェハ切断、ステージ分解能:0.1μm、送り速度:0.1-600mm/s

 
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