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ご利用案内
　利用可能な設備の詳細
35. ブレードダイサー

【装置名】　ブレードダイサー
【概略仕様】
ウェハ寸法：最大12インチウェハ、機能：ダイヤモンドブレードによるウェハ切断、ステージ分解能：0.1μm、送り速度：0.1－600mm/s

　
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