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 利用可能な設備の詳細
35. 電子ビーム/抵抗蒸着装置

【装置名】 電子ビーム/抵抗蒸着装置
【概略仕様】
ウェハ寸法:8、12インチウェハ、機能:電子ビーム及び抵抗加熱方式真空蒸着、8インチ3枚バッチ、12インチ枚葉処理、成膜速度例:30-60nm/分

 
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