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 利用可能な設備の詳細
34. 光学顕微鏡

【装置名】 光学顕微鏡
【概略仕様】
ウェハ寸法:最大12インチウェハ、機能:光学顕微観察、画像処理機能付属、倍率:50-1000倍、ステージストローク:350×300mm

 
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