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33. 赤外線レーザ顕微鏡
【装置名】 赤外線レーザ顕微鏡
【概略仕様】
ウェハ寸法：最大12インチウェハ、機能：赤外線レーザによる共焦点顕微観察、各種表面プロファイル分析
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