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 利用可能な設備の詳細
33. 赤外線レーザ顕微鏡

【装置名】 赤外線レーザ顕微鏡
【概略仕様】
ウェハ寸法:最大12インチウェハ、機能:赤外線レーザによる共焦点顕微観察、各種表面プロファイル分析

 
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