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32. シート抵抗プローバー
【装置名】 シート抵抗プローバー
【概略仕様】
ウェハ寸法：最大8インチウェハ、機能：セミオート4探針抵抗率／シート抵抗測定、測定範囲：1m-10MΩ/□、測定精度：±1%以下
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