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 利用可能な設備の詳細
31. レーザ顕微鏡

【装置名】 レーザ顕微鏡
【概略仕様】
ウェハ寸法:最大12インチウェハ、機能:可視光線レーザによる共焦点顕微観察、各種表面プロファイル分析、光源波長:405nm

 
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