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　利用可能な設備の詳細
30. ウェハ塵埃検査装置

【装置名】　ウェハ塵埃検査装置
【概略仕様】
ウェハ寸法：8インチウェハ、機能：ウェハ面上の塵埃数測定、ステージ移動によるマッピング及び粒子径分布ヒストグラム表示、カセット･ツー･カセット搬送処理、検出粒子径：0.079－5.0μm

　
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