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　利用可能な設備の詳細
29. 膜厚測定器

【装置名】　膜厚測定器
【概略仕様】
ウェハ寸法：8、12インチウェハ、機能：反射分光方式非接触膜厚測定、分光曲線フィッティングによる屈折率及び膜厚測定、測定エリア：8インチ径以内、測定膜厚：10nm－40μm、繰り返し精度：0.1%

　
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