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 利用可能な設備の詳細
28. エリプソメーター

【装置名】 エリプソメーター
【概略仕様】
ウェハ寸法:8インチウェハ、機能:自動エリプソメトリー、膜厚測定精度:±1nm/100nm厚さ

 
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