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 利用可能な設備の詳細
28. 干渉型表面形状評価装置

【装置名】 干渉型表面形状評価装置
【概略仕様】
ウェハ寸法:最大8インチウェハ、機能:白色干渉型非接触表面プロファイル測定、垂直分解能:0.1nm

 
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