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27. 段差測定器
【装置名】 段差測定器
【概略仕様】
ウェハ寸法：8インチウェハ、機能：触針式ウェハ表面形状評価、表面プロファイル及びストレスマッピング機能、先端角20度の鋭角スタイラス付属、測定レンジ：5－300μm、再現性：最小レンジで1nmσ
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