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 利用可能な設備の詳細
26. 膜厚測定器

【装置名】 膜厚測定器
【概略仕様】
ウェハ寸法:8、12インチウェハ、機能:反射分光方式非接触膜厚測定、分光曲線フィッティングによる屈折率及び膜厚測定、測定エリア:8インチ径以内、測定膜厚:10nm-40μm、繰り返し精度:0.1%

 
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