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26. 光学検査顕微鏡
【装置名】 光学検査顕微鏡
【概略仕様】
ウェハ寸法：4、6、8インチウェハ、機能：光学顕微鏡観察によるウェハ自動欠陥検査、測定エリア：最大8インチ、最小検出欠陥寸法：2μm
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