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24. 犠牲層ドライエッチング装置
【装置名】 犠牲層ドライエッチング装置
【概略仕様】
ウェハ寸法：4、6、8インチウェハ、機能：フッ酸ベーパーによるSi酸化膜犠牲層のドライエッチング、終点判定機能付属
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