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23. 12"Si深掘ドライエッチング装置
【装置名】 12"Si深掘ドライエッチング装置
【概略仕様】
ウェハ寸法:12インチウェハ、機能:フッ素系ガスのICP高密度プラズマによるドライエッチング加工、ボッシュプロセス深堀加工、カセット・ツー・カセット搬送処理、プラズマ発光分光検出機能付属
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