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 利用可能な設備の詳細
23. 光学検査顕微鏡

【装置名】 光学検査顕微鏡
【概略仕様】
ウェハ寸法:4、6、8インチウェハ、機能:光学顕微鏡観察によるウェハ自動欠陥検査、測定エリア:最大8インチ、最小検出欠陥寸法:2μm

 
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