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 利用可能な設備の詳細
21. 犠牲層ドライエッチング装置

【装置名】 犠牲層ドライエッチング装置
【概略仕様】
ウェハ寸法:4、6、8インチウェハ、機能:フッ酸ベーパーによるSi酸化膜犠牲層のドライエッチング、終点判定機能付属

 
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