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21. Si酸化膜ドライエッチング装置
【装置名】 Si酸化膜ドライエッチング装置
【概略仕様】
ウェハ寸法：8インチウェハ、機能：フッ素系ガスによるICPドライエッチング、Si酸化膜・Si窒化膜の非ボッシュプロセスによるエッチング加工、カセット･ツー･カセット搬送処理、エッチング終点判定機能
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