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19. ポリSi減圧CVD装置
【装置名】 ポリSi減圧CVD装置
【概略仕様】
ウェハ寸法:8インチウェハ、機能:減圧CVDによるSiウェハへのリンドープ・ポリシリコン膜形成、25枚バッチのカセット・ツー・カセットウェハ搬送処理、縦型チューブ仕様
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