MMC
>
MNOICメイン
>
ご利用案内
>
利用可能な設備の詳細
>
ご利用案内
利用可能な設備の詳細
17. アニール炉
【装置名】 アニール炉
【概略仕様】
ウェハ寸法：8インチウェハ、機能：Siウェハの雰囲気中アニール処理、25枚バッチのカセット･ツー･カセットウェハ搬送処理、縦型チューブ仕様、アニール温度：最高1150℃
MNOICメイン
ご利用案内
提供サービス
設備概要
お問合せ・アクセス
一般財団法人マイクロマシンセンター
サイトマップ
センターアクセス
お 問 合 せ
Copyright c Micromachine Center. All rights reserved.
