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16. 酸化炉
【装置名】 酸化炉
【概略仕様】
ウェハ寸法：8インチウェハ、機能：Siウェハへの熱酸化膜形成、25枚バッチのカセット･ツー･カセットウェハ搬送処理、縦型チューブ仕様、水素ガス燃焼による水蒸気利用ウェット酸化とドライ酸化、酸化温度：最高1150℃
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