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15. スパッタ
【装置名】 スパッタ
【概略仕様】
ウェハ寸法：8インチウェハ、機能：3チャンバ構成マグネトロンスパッタによるウェハへの各種金属膜、絶縁膜形成、ターゲットへのDC/RF電圧選択印加可能
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