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 利用可能な設備の詳細
14. アニール炉

【装置名】 アニール炉
【概略仕様】
ウェハ寸法:8インチウェハ、機能:Siウェハの雰囲気中アニール処理、25枚バッチのカセット・ツー・カセットウェハ搬送処理、縦型チューブ仕様、アニール温度:最高1150℃

 
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