MMC
>
MNOICメイン
>
ご利用案内
>
利用可能な設備の詳細
>
ご利用案内
利用可能な設備の詳細
13. スプレーコータ
【装置名】 スプレーコータ
【概略仕様】
機能・特徴：３軸ロボットとスプレーガンによるレジスト塗布 塗布膜厚：5～10μm 塗布温度：40～80℃ ウェハ寸法：4、6、8 インチウェハ 等
MNOICメイン
ご利用案内
提供サービス
設備概要
お問合せ・アクセス
一般財団法人マイクロマシンセンター
サイトマップ
センターアクセス
お 問 合 せ
Copyright c Micromachine Center. All rights reserved.
