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12. 大面積コータディベロッパ
【装置名】 大面積コータディベロッパ
【概略仕様】
機能・特徴：密閉式回転カップ方式により、角基板のコーナーまで均一にスピンコート
対応基板：□500mm、φ300mm、φ200mm 基盤搬送：専用治具による手動搬送 塗布性能：レジスト厚さ1～10μm±1-2% リンス機能：エッジリンス、バックリンス（円形基板のみ対応） ベーク温度：120～200±1℃ 等
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