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 利用可能な設備の詳細
12. スパッタ

【装置名】 スパッタ
【概略仕様】
ウェハ寸法:8インチウェハ、機能:3チャンバ構成マグネトロンスパッタによるウェハへの各種金属膜、絶縁膜形成、ターゲットへのDC/RF電圧選択印加可能

 
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