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11. 光学顕微鏡
【装置名】 光学顕微鏡
【概略仕様】
ウェハ寸法：最大12インチウェハ、機能：光学顕微観察、画像処理機能付属、倍率：50-1000倍、ステージストローク：350×300mm
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