MMC
>
MNOICメイン
>
ご利用案内
>
利用可能な設備の詳細
>
ご利用案内
利用可能な設備の詳細
10. コーターディベロッパ
【装置名】 コーターディベロッパ
【概略仕様】
ウェハ寸法：8、12インチウェハ、機能：レジスト2種類選択塗布、アルカリ現像液2種類選択、HMDS処理、ベーク処理、カセット･ツー･カセット自動搬送処理
MNOICメイン
ご利用案内
提供サービス
設備概要
お問合せ・アクセス
一般財団法人マイクロマシンセンター
サイトマップ
センターアクセス
お 問 合 せ
Copyright c Micromachine Center. All rights reserved.
