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 利用可能な設備の詳細
9. コーターディベロッパ

【装置名】 コーターディベロッパ
【概略仕様】
ウェハ寸法:8、12インチウェハ、機能:レジスト2種類選択塗布、アルカリ現像液2種類選択、HMDS処理、ベーク処理、カセット・ツー・カセット自動搬送処理

 
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