MNOICご利用案内：利用設備詳細　マスク露光装置

ご利用案内

　利用可能な設備の詳細

8. マスク露光装置

【装置名】　マスク露光装置

【概略仕様】

ウェハ寸法：6、8インチウェハ、機能：ウェハへのマスクアライメント、1：1転写露光、ラージギャップ、高段差露光、裏面アライメント対応、露光モード：バキューム/ハードコンタクト/プロキシミティ露光、アライメント精度：±0.5μm以内、標準レジスト厚さ：1μm、10μm