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5. IPAベーパー乾燥機
【装置名】 IPAベーパー乾燥機
【概略仕様】
ウェハ寸法：8インチウェハ、機能：ウェハを5枚バッチ処理でIPAベーパー雰囲気に晒して水分を除去･乾燥、特徴：ウェハスピン洗浄装置及び異方性ウェットエッチング装置と共通のウェハカセットを使用
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