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4. 異方性ウェットエッチング装置
【装置名】 異方性ウェットエッチング装置
【概略仕様】
ウェハ寸法：8インチウェハ、機能：恒温薬品槽へのウェハディッピングによるシリコン異方性エッチング、超純水リンス洗浄、5枚バッチ全自動搬送処理、ウェハ処理槽内搖動による均一エッチング、エッチング液：TMAH
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