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 利用可能な設備の詳細
3. 有機ドラフト

【装置名】 有機ドラフト
【概略仕様】
ウェハ寸法:8インチウェハ、機能:ウェハの手動有機洗浄作業と有機溶剤含有塗布剤スピンコーティングが可能な局所排気装置、作業面幅1800mm

 
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