MNOICご利用案内：利用設備詳細　ウェハスピン洗浄装置

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　利用可能な設備の詳細

2. ウェハスピン洗浄装置

【装置名】　ウェハスピン洗浄装置

【概略仕様】
ウェハ寸法：8、12インチウェハ、機能：ウェットエッチング液による枚葉処理スピン洗浄･乾燥、洗浄プロセス：アンモニア/過酸化水素水、塩酸/過酸化水素水、希釈フッ酸による洗浄と超純水リンス洗浄、ウェットアンローダー付属