MNOICご利用案内：利用設備詳細　ウェハディップ洗浄装置

ご利用案内

　利用可能な設備の詳細

1. ウェハディップ洗浄装置

【装置名】　ウェハディップ洗浄装置

【概略仕様】
ウェハ寸法：8、12インチウェハ、機能：ウェットエッチング液による5枚バッチ処理ディップ洗浄･スピン乾燥、前処理用汎用無機ドラフト付属、洗浄プロセス：硫酸/過酸化水素水、希釈フッ酸による洗浄と超純水リンス洗浄